반도체 나노소자 공정실습 (17기수)
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공정을 운영하기 위한 원리를 터득하고 실습영상을 통해 나노소자 공정의 이해 및 경험을 제공
나노소자 공정 분야(이공계 반도체 관련학과) 학부생 및 재직자
수료기준 : 중간평가 0점 이상, 최종평가 60점 이상, 과제 0점 이상시 수료
(단,진도 80% 미만시는 수료불가)
수료기준 : 진도 80% 이상 시 수료
[1차시] Semiconductor devices (1)
[2차시] Semiconductor devices (2)
[3차시] Why Clean Room?
[4차시] Semiconductor devices (3)
[5차시] Oxidation (1)
[6차시] Oxidation (2)
[7차시] Photolithography (1)
[8차시] Thin-Film Deposition (1)
[9차시] Thin-Film Deposition (2)
[10차시] Annealing
[11차시] Photolithography (2)
[12차시] Etching
[13차시] Thin-Film Deposition (3)
[14차시] Thin-Film Analysis
[15차시] Device mesurement